cleaning

Chamber Cleaning

chamber Cleaning products Consulting

Chamber Cleaning BKM by equipment

6-step full cleaning system

process

process

Initial Cleaning

PHOTO

Particle 감소, Defect개선, Robot Handler Fiber개선 Particle Source제거

ETCH

Particle 감소, ETCH Rate 개선, 공정 Data 개선, Rust 제거, 표면손상 최소화, 공정전환, 개조개선, Defect개선

CVD

Particle 감소, Micro Arcing개선Ceramic Part Recovery, RA 개선 , SLD Leak개선,공정전환, 개조개선, Defect개선

PVD

Particle 감소, Wafer Sliding개선, DF Down개선 공정전환, 개조개선, Defect개선

DIFF

Particle 감소, Micro Arcing개선, Defect개선

METAL

Particle 감소, Arcing자국 개선, RA개선, 공정전환, 개조개선 ,Defect개선

IMP

Particle 감소, Defect개선

Chamber Cleaning

applications

WOW (Worst Of Worst) 설비

현재 지속적으로 공정 이슈를 안고 있는 장비들을 대상으로 문제 해결을 위한 특화된 세정 Solution을 제공합니다.

On-Call 설비

생산 가동중인 장비의 PM상 공정이슈 해결이 필요한 장비들을 대상으로 즉각적인 세정 Solution을 제공합니다.

정기 PM (Yearly PM) 설비

비 정기 PM을 줄이고 정기 PM 위주의 안정적인 장기적인 (Long-term) 주기 관리를 위한 장비를 대상으로 연간 서비스를 진행합니다.

이설, 공정전환 설비

기존 공정과정 중 증착된 부산물이 이설라인이나 변경된 공정에 영향을 미치지 못하게 특화된 Overhaul 세정으로 공정이슈를 예방합니다.

Before & after