반도체 산업에서 깨끗하고 오염 물질이 없는 환경을 유지하는 것의 중요성은 과장할 수 없으며, 특히 고진공 챔버를 세척할 때 더욱 그렇습니다. 오염 흔적이 조금이라도 있으면 민감한 제조 공정이 중단되어 웨이퍼에 결함이 생기고 생산에 많은 비용이 듭니다. 세척 재료의 선택은 이 공정에서 중요한 역할을 하는데, 특히 Foamtec의 MiraSAT 와이퍼 와 같은 사전 포화 와이퍼에 사용되는 물이 그렇습니다.
세척 작업을 위해 탈이온수(DI) 와 초순수(UPW) 를 선택할 때는 두 가지의 차이점을 이해하고 MiraSAT 와이퍼가 까다로운 반도체 환경에서 최상의 결과를 제공하기 위해 UPW를 선택하는 이유를 이해하는 것이 중요합니다.
DI수란 무엇인가?
탈이온수는 이온 교환 공정을 통해 물을 통과시켜 용해된 미네랄 염과 이온을 제거하여 생산됩니다. 이러한 수준의 정화로 인해 DI수는 다양한 세척 응용 분야에서 효과적이며, 특히 이온 오염 물질을 최소화해야 하는 경우에 효과적입니다. 그러나 DI수에는 여전히 고진공 챔버와 같은 초청정 환경에서 문제가 될 수 있는 유기 화합물, 미생물 또는 입자가 포함되어 있을 수 있습니다.
초순수란 무엇인가?
초순수(UPW)는 정화를 최고 수준으로 끌어올립니다. 이온을 제거하는 것 외에도 UPW는 미립자, 용해된 가스 및 유기 분자를 제거하기 위해 여과되어 반도체 제조에 자주 사용되는 가장 엄격한 순도 표준을 충족하는 물이 됩니다. UPW는 사실상 불순물이 없으며 총 유기 탄소(TOC) 수준은 10억 분의 1(ppb)로 측정되고 전도도는 0.055µS/cm 범위로 가장 깨끗한 물입니다.
초순수가 고진공 챔버 세척에 더 좋은 이유
우수한 오염 물질 제어 : 반도체 제조에서 아주 작은 양의 오염 물질도 웨이퍼에 심각한 결함을 일으킬 수 있습니다. 고진공 챔버는 공정을 방해할 수 있는 입자, 이온 또는 유기 오염 물질에 민감합니다. UPW는 매우 높은 순도로 인해 세척 중 오염 물질이 유입될 위험을 최소화하여 중요한 반도체 공정에 더 깨끗한 환경을 보장합니다.
입자 발생 최소화 : 고진공 챔버는 입자 오염에 취약하여 증착 결함이나 표면 결함과 같은 문제가 발생할 수 있습니다. 초순수의 낮은 입자 함량은 세척 중에 추가 입자가 유입되지 않아 오염 위험을 줄입니다.
잔류물 형성 없음 : DI수와 달리 UPW는 용해된 가스와 유기 화합물이 없으므로 증발 중에 잔류물이 남지 않습니다. 이는 진공 챔버에 중요한데, 잔류물이 공정을 방해하여 추가 세척이나 유지 관리가 필요할 수 있기 때문입니다.
MiraSAT 와이퍼가 초순수를 사용하는 이유
Foamtec의 MiraSAT 와이퍼는 초순수로 미리 포화되어 있습니다. 그 이유는 반도체 제조의 고진공 챔버에 가장 깨끗하고 효율적인 세척 솔루션을 제공하기 위해서입니다. UPW가 MiraSAT에 더 적합한 선택인 이유는 다음과 같습니다.
최적의 입자 제거 : MiraSAT 와이퍼는 입자나 잔류물을 재도입하지 않고 표면에서 오염 물질을 효과적으로 제거하도록 설계되었습니다. 초순수를 사용하여 이 와이퍼는 오염 물질이 남지 않도록 보장하여 고진공 챔버에서 요구되는 엄격한 청결 기준을 지원합니다.
이온 오염 없음 : UPW는 세척 과정에서 이온 잔류물이 유입되지 않도록 보장하여 진공 챔버 내부의 민감한 공정을 방해할 수 있는 잠재적인 오염을 방지합니다.
수율 극대화 : MiraSAT와 같은 사전 포화 와이퍼에서 UPW를 사용하면 반도체 제조업체가 더 깨끗한 챔버를 유지하고, 결함률을 줄이고, 수율을 개선하는 데 도움이 됩니다. 이는 궁극적으로 더 높은 품질의 제품과 더 적은 공정 중단으로 이어집니다.
결론
DI 물은 많은 일반 세척 응용 분야에 적합한 옵션이지만 반도체 제조에서 고진공 챔버를 세척하는 데 필요한 극도의 순도 표준을 충족하지 못합니다. 초순수는 탁월한 선택으로, 타의 추종을 불허하는 오염 물질 제어, 입자 제거 및 공정 일관성을 제공합니다. 초순수로 미리 포화된 Foamtec의 MiraSAT 와이퍼는 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 지원하도록 특별히 설계되어 고진공 챔버에 대한 더 깨끗하고 효율적인 세척 공정을 보장합니다.
MiraSAT 와이퍼가 청소 과정을 어떻게 개선할 수 있는지 자세히 알아보려면 MiraSAT 와이퍼를 방문하세요.
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