소개 :
화학 기상 증착(CVD) 챔버는 다양한 산업에서 중요한 역할을 하며, 효율적인 유지관리는 최적의 성능을 위해 필수적입니다. 이러한 챔버 내에서 샤워 헤드나 가스 분산판을 세척하는 것은 특히 고온에서 세척해야 할 때 매우 어렵습니다. 뜨거운 CVD 구성품에 대한 기존 닦기 방법은 합성 클린룸 와이퍼가 녹거나 효과적인 세척에 필요한 습기를 제공하지 못할 수 있으므로 운영 및 안전 위험을 초래할 수 있습니다. 그러나 Foamtec의 혁신적인 솔루션인 100% 초순수로 적신 MiraSAT 와이퍼는 MiraWIPE의 마이크로파이버 구조를 활용하면서 충분한 수분 유지력을 보장하여 이러한 과제를 해결합니다. 이 블로그에서는 Foamtec의 MiraSAT 와이퍼가 CVD 챔버 세척에서 효율성, 세척 효과 및 1차 통과 자격률을 개선하는 방법을 자세히 설명합니다.
1. 고온 세척의 과제 :
샤워 헤드나 가스 분산판과 같은 CVD 챔버 구성품을 고온에서 세척하는 것은 중요한 작업입니다. 그러나 기존의 닦는 방법은 합성 클린룸 와이퍼가 녹거나 충분한 물을 보유하지 못할 위험 때문에 문제가 될 수 있습니다. 이러한 과제는 운영 효율성과 안전성을 모두 손상시킬 수 있습니다.
2. Foamtec의 MiraSAT 와이퍼 소개 :
Foamtec의 MiraSAT 와이퍼는 CVD 챔버 세척 중에 직면하는 과제에 대한 고유한 솔루션을 제공합니다. 이 와이퍼는 100% 초순수를 효과적으로 유지하고 공급하도록 특별히 설계되었습니다. 초순수를 사용하면 화학적 오염 위험이 없어지고 최적의 세척 성능이 보장됩니다. MiraSAT은 와이퍼당 13ml의 초순수를 제공하여 뜨거운 진공 챔버 표면을 세척할 수 있습니다 (부품 번호: HT5790SEHS-260) .
3. 수분 유지 및 안전 :
MiraSAT 와이퍼의 마이크로파이버 구조는 고온에서도 충분한 양의 물을 보유할 수 있습니다. 이 기능은 와이퍼가 마르거나 녹는 위험 없이 샤워 헤드나 가스 분산판을 안전하게 세척할 수 있도록 합니다. MiraSAT 와이퍼는 수동 적심의 필요성을 없애 일관된 적심을 제공하여 과도하거나 부족한 물 사용 가능성을 줄입니다.
4. MiraWIPE의 마이크로파이버 구조 활용 :
Foamtec의 MiraWIPE 마이크로파이버 기술은 MiraSAT 와이퍼의 세척 효율성과 효과를 더욱 향상시킵니다. 마이크로파이버 구조는 뛰어난 입자 포집을 가능하게 하여 세척 과정에서 오염 물질을 포집하는 데 와이퍼가 매우 효과적이게 합니다. MiraSAT 와이퍼의 향상된 세척 성능은 첫 번째 통과 자격률을 개선하여 여러 번의 세척 주기를 줄일 수 있습니다.
5. Foamtec의 MiraSAT 와이퍼의 장점 :
– 향상된 안전성: 고온에서 충분한 물을 유지할 수 있는 능력은 와이퍼가 녹거나 마르는 위험 없이 CVD 챔버 구성 요소를 안전하게 세척할 수 있음을 보장합니다.
– 효율성 향상: MiraSAT 와이퍼가 제공하는 일관된 습윤 덕분에 수동으로 습윤할 필요가 없어 시간과 노력이 절약됩니다.
– 세척 효과 증대: MiraWIPE의 마이크로파이버 구조는 입자를 효율적으로 가두어 세척 과정을 더욱 철저히 하고 1차 통과 합격률을 개선합니다.
– 화학적 순도: 100% 초순수를 사용하므로 세척 과정에서 화학적 오염 위험이 없습니다.
결론 :
Foamtec의 MiraSAT 와이퍼는 100% 초순수로 적셔져 고온 CVD 챔버에서 샤워 헤드와 가스 분산판을 세척하기 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 충분한 수분 유지를 보장하고 MiraWIPE의 마이크로파이버 구조를 활용함으로써 MiraSAT 와이퍼는 안전성을 강화하고 세척 효율성을 개선하며 1차 통과 합격률을 높입니다. Foamtec의 혁신적인 세척 솔루션을 사용하면 산업체는 높은 수준의 청결을 유지하면서 CVD 챔버의 성능과 수명을 최적화할 수 있습니다.
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