소개
웨이퍼 팹에서 TEL Lithius Pro와 같은 트랙 툴의 오염은 상당한 생산 비효율성과 웨이퍼 결함으로 이어질 수 있습니다. 섬유 모양의 입자, 특히 폴리에스터 기반 세척 재료에서 유래한 입자는 트랙에서 스캐너와 같은 다운스트림 툴로 쉽게 이동할 수 있으며, 여기서 그 영향은 더욱 심각해집니다. 기존의 입자 샘플링 기술은 종종 폴리에스터 섬유와 같은 유기 오염 물질을 정확하게 식별하기에 충분한 재료를 수집하지 못합니다. 결과적으로 입자 이동과 스크래치 결함 사고의 주요 원인인 이러한 섬유는 종종 감지되지 않습니다. Foamtec의 PolyCHECK® 샘플 수집 시스템과 MiraWIPE 섬유 없는 와이퍼는 이러한 오염 문제를 식별하고 예방하기 위한 보다 효과적인 솔루션을 제공합니다.
기존 샘플링 기술의 한계
테이프나 SEM 스터브와 같은 기존의 표면 샘플링 방법은 웨이퍼 팹의 입자 오염원을 조사하는 데 널리 사용됩니다. 그러나 이러한 기술은 종종 불충분한 양의 샘플을 수집하여 폴리에스터 섬유와 같은 유기 입자를 정확하게 식별하기 어렵게 만듭니다. 기존 방법은 무기 물질과 금속 기반 오염 물질에 더 중점을 두기 때문에 세척 재료의 섬유를 포함한 유기 오염원은 종종 간과됩니다.
TEL Lithius Pro와 같은 도구의 경우 예방 유지 관리(PM) 중에 사용된 폴리에스터 와이퍼가 민감한 표면에 섬유를 흘릴 수 있습니다. 그런 다음 이러한 섬유가 도구를 통해 이동하여 입자 이동을 일으키고 스크래치 결함 사고에 기여할 수 있습니다. 그러나 기존 샘플링 기술의 한계로 인해 폴리에스터 섬유의 존재가 종종 감지되지 않아 오염이 지속될 수 있습니다.
트랙 도구 및 스캐너의 섬유 오염의 영향
웨이퍼 코팅 및 현상을 담당하는 TEL Lithius Pro와 같은 트랙 도구는 세척 재료로 인한 섬유 오염에 특히 취약합니다. 폴리에스터 와이퍼를 많이 사용할수록 마모 저항성이 낮아 섬유가 더 많이 떨어집니다. 섬유는 FOUP 입구, 이송 챔버, 웨이퍼 처리 시스템과 같은 중요한 영역에 쉽게 축적된 다음 웨이퍼 자체로 옮겨질 수 있습니다.
웨이퍼에 도달하면 이러한 섬유는 스캐너로 하류로 이동할 수 있으며, 스캐너에서 그 결과는 훨씬 더 심각합니다. 스캐너에서 웨이퍼와 웨이퍼 테이블 또는 온도 안정화 장치(TSU)와 같은 중요한 표면 사이에 갇힌 섬유는 적절한 진공 정렬을 방해하여 저진공 오류, 웨이퍼 정렬 오류 및 사양을 벗어난 오버레이로 이어질 수 있습니다. 이로 인해 도구 가동 중단, 재작업 증가 및 수율 감소가 발생합니다.
TEL Lithius Pro 분석 결과, 주로 폴리에스터와 셀룰로스인 섬유가 웨이퍼와 도구 표면 사이에서 감지되었습니다. 세척 와이퍼에서 나온 섬유는 오염과 도구 오류에 기여하고 있었습니다. 그러나 기존 샘플링 기술로는 이러한 섬유를 오염의 근원으로 식별하지 못했습니다.
PolyCHECK®가 기존 샘플링 제한을 극복하는 방법
Foamtec의 PolyCHECK® 시스템은 입자 분석에 대한 보다 포괄적인 접근 방식을 제공함으로써 기존 샘플링 방법의 한계를 해결합니다. PolyCHECK® 와이퍼는 무기 및 유기 물질을 모두 포함하여 통계적으로 유의미한 입자 샘플을 수집하도록 특별히 설계되어 섬유 기반 오염을 보다 정확하게 식별할 수 있습니다.
최근 TEL Lithius Pro 트랙 도구의 PM에서 엔지니어는 PolyCHECK® 와이퍼를 사용하여 오염 징후가 보이는 영역에서 샘플을 수집했습니다. 수집된 재료를 자외선과 추가 화학 분석으로 분석한 후, 폴리에스터 섬유가 주요 오염원임을 확실히 확인했습니다. 기존 샘플링 기술은 이러한 섬유를 놓쳤지만 이제 입자 이동과 잠재적인 스크래치 결함 사고의 주요 원인으로 인식되었습니다.
PolyCHECK®가 제공하는 더욱 자세한 입자 분석을 통해 엔지니어는 섬유가 없는 와이퍼로 전환하는 등 타깃에 맞는 시정 조치를 취해 추가 오염을 방지할 수 있습니다.
MiraWIPE : 트랙 및 스캐너 도구를 위한 섬유 없는 세척 솔루션
PolyCHECK®가 엔지니어가 섬유 오염을 더 정확하게 식별하는 데 도움이 되는 반면, Foamtec의 MiraWIPE는 세척 중에 새로운 섬유가 유입되지 않도록 보장합니다. MiraWIPE는 폴리우레탄 폼으로 만든 섬유가 없는 와이퍼로, PM 중에 섬유가 떨어질 위험을 제거합니다. 뛰어난 내마모성으로 반복적인 닦기로 인해 새로운 섬유가 생성되지 않으므로 트랙 도구와 스캐너 모두에 이상적인 솔루션입니다.
전통적인 폴리에스터 와이퍼 대신 MiraWIPE를 사용하면, fabs는 섬유 오염이 처음부터 발생하지 않도록 예방할 수 있습니다. MiraWIPE의 짠 마이크로파이버 원단은 세척 효율성을 높이고 입자 이동 위험을 줄여 도구를 더 깨끗하게 유지하고 입자 이동 가능성을 줄입니다.
섬유 오염 방지의 실제 성공 사례
PolyCHECK®와 MiraWIPE의 조합은 트랙 및 스캐너 도구에서 섬유 오염을 방지하는 데 매우 효과적인 것으로 입증되었습니다. TEL Lithius Pro 트랙 도구 분석에서 폴리에스터 섬유는 PolyCHECK®를 사용하여 식별되었는데, 이는 기존 샘플링 방법으로는 감지할 수 없었습니다. 이러한 섬유가 해결되지 않으면 스캐너로 이동하여 도구 오류와 웨이퍼 결함으로 이어졌을 것입니다.
PM 중에 MiraWIPE를 구현함으로써, 팹은 섬유 없는 세척을 보장하여 팹 전체에 오염이 퍼지는 것을 방지할 수 있습니다. 이를 통해 도구 가동 중단 시간이 줄어들고, 웨이퍼 품질이 개선되며, 전반적인 생산 효율성이 향상됩니다.
결론
기존의 입자 샘플링 기술은 종종 웨이퍼 팹에서 입자 이동과 스크래치 결함 사고의 주요 원인인 폴리에스터 섬유와 같은 유기 오염 물질을 정확하게 식별하기에 충분한 샘플 재료를 수집하지 못합니다. Foamtec의 PolyCHECK® 시스템은 오염원을 식별하는 데 보다 철저한 접근 방식을 제공하는 반면 MiraWIPE는 섬유가 트랙 및 스캐너 도구에 유입되는 것을 방지하는 섬유 없는 세척 솔루션을 제공합니다. 이러한 솔루션은 팹이 도구 가동 중단 시간을 줄이고 웨이퍼 결함을 방지하며 수율을 최적화하는 데 도움이 됩니다.
Foamtec의 PolyCHECK® 및 MiraWIPE 솔루션이 트랙 도구 및 스캐너의 섬유 오염을 식별하고 방지하는 데 어떻게 도움이 될 수 있는지 자세히 알아보려면 지금 저희에게 문의하세요!
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