서론 :
반도체 제조 분야에서 깨끗하고 오염 없는 환경을 유지하는 것은 제조된 웨이퍼의 품질과 성능을 보장하는 데 매우 중요합니다. 웨이퍼 팹이 직면한 중요한 과제 중 하나는 생산 공정에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 공기 중 분자 오염(AMC)의 존재입니다. 그러나 Foamtec의 혁신적인 MiraSAT Preconditioned Cleanroom Wipers는 VOC 수준을 줄이고 팹에서 AMC 문제를 해결하는 게임 체인저로 등장했습니다.
VOC 수준 감소 :
휘발성 유기 화합물(VOC)은 공기 중 분자 오염의 주요 원인으로, 웨이퍼 팹의 민감한 제조 공정에 위협이 됩니다. MiraSAT을 출시함으로써 Foamtec은 웨이퍼 팹에 이 문제를 해결할 수 있는 강력한 도구를 제공했습니다. 이 클린룸 와이퍼는 100% 초순수, 10% IPA(이소프로필 알코올), 70% IPA로 미리 적신 세 가지 종류로 제공됩니다. 이러한 다재다능함 덕분에 웨이퍼 팹은 특정 요구 사항에 따라 올바른 옵션을 선택할 수 있습니다.
100% IPA 습식 와이퍼 교체 :
28nm 이하 팹의 등장으로 예방 유지 관리(PM) 중에 100% IPA 습식 와이퍼를 대체할 수 있는 제품을 찾아야 할 필요성이 중요해졌습니다. Foamtec의 MiraSAT 클린룸 와이퍼는 이와 관련하여 신뢰할 수 있는 솔루션임이 입증되었습니다. MiraSAT 와이퍼를 활용하여 28nm 이하 팹은 습식 세척 중에 발생하는 VOC를 60% 이상 성공적으로 줄였습니다. 이 획기적인 발전은 팹 내부의 공기 질을 개선했을 뿐만 아니라 제조 공정의 전반적인 효율성도 향상시켰습니다.
초흡수성 마이크로파이버 원단 :
MiraSAT 클린룸 와이퍼의 뛰어난 특징은 초흡수성 마이크로파이버 원단을 사용한다는 것입니다. 이 독특한 원단은 100% 물에 젖어도 와이퍼가 진공 챔버를 건조하게 유지합니다. 이를 통해 펌프 가동 중단에 대한 우려가 없어지고 중단 없는 생산 공정이 가능합니다. 마이크로파이버 원단의 뛰어난 흡수성은 세척 효율성을 높여 더욱 생산적이고 안정적인 웨이퍼 제조 환경을 제공합니다.
결론 :
Foamtec의 MiraSAT 사전 포화 클린룸 와이퍼는 웨이퍼 팹이 VOC 감소 및 AMC 문제를 해결하는 방식에 혁명을 일으켰습니다. 초순수와 다양한 농도의 IPA로 사전 습윤 옵션을 제공함으로써 이러한 와이퍼는 특정 세척 요구 사항을 충족하는 유연성을 제공합니다. MiraSAT 와이퍼가 예방 유지 관리 중에 100% IPA 습윤 와이퍼를 대체할 수 있는 기능은 습식 세척 중에 발생하는 VOC를 크게 줄였습니다. 또한, 흡수성이 뛰어난 마이크로파이버 원단은 진공 챔버가 건조한 상태를 유지하도록 하여 펌프 가동 중단에 대한 우려를 없앱니다. Foamtec은 MiraSAT을 통해 웨이퍼 팹에 더 깨끗하고 안전하며 효율적인 제조 환경을 유지할 수 있는 효과적인 솔루션을 제공했습니다.
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